業務單位：勞工檢查處

2月20日11時30分許，中部科學園區茂德科技於進行新設蝕刻機機台裝設時發生氫氟酸外漏事故，造成2名工程師受傷送醫（1名被氫氟酸噴濺臉部，1名遭嗆傷），經緊急處理並送醫治療後正觀察中。

本案經本會中區勞動檢查所與中部科園工業園區開發籌備處於接獲通報後即會同緊急前往調查處理，經初步調查結果發現，肇災物質確定為氫氟酸，事故原因為2名工程師裝設2部蝕刻機台時，A機台裝設完畢進行測試時，氫氟酸液體卻因源頭管線標示錯誤，誤送入B機台，致該2名工程師於裝設過程中遭該液體噴濺而肇災。

根據統計，自92年迄今計發生7件高科技廠有害氣體洩漏造成多名員工傷亡事故，且均為氫氟酸、矽甲烷、砷化氫等易造成中毒、或火災爆炸之高危害物質，勞委會特別呼籲高科技產業務必投入更多工安及風險管理資源，除避免勞工傷亡外，也降低災害造成的重大損失。

勞委會表示，高科技產業的危害特性在於：使用多樣少量之化學品，其中不乏毒性、易燃性及可燃性之特殊氣體與強酸、強鹼及有機溶劑，特殊氣體都儲放於氣體室（Gas Room），若因設計、操作或管理控制不當，即可能產生中毒災害或火災爆炸，再加上廠房多屬於密閉系統，災害發生後往往造成重大的損失。以高科技廠之有害、毒性化學物質漏洩而言，因高科技廠房普遍使用氫氟酸(HF)等有毒或高腐蝕性特殊氣體，洩漏時因密閉廠房設計，易造成人員曝露之危害。

另一種肇災類型為火災爆炸：高科技製程中普遍用於形成矽膜之矽甲烷（SiH4）等危險物，反應性極高，正常係於密閉設備操作，如發生外洩與空氣接觸即可自燃，且因密閉式廠房設計，可能發生氣爆於廠房內延燒，並與其他化學品反應產生有害物質，造成人員疏散及搶救困難，近年重大災害案例除去年昨日南科茂迪科技公司事故外，另86年竹科聯瑞積體電路公司火災，廠房全毀，損失101億元；90年汐止東方科技園區廠房火災；94年5月中壢日月光半導體火災，損失約100億元。

另本年元月18日下午台南縣六甲鄉東雲紡織6死5傷爆炸事故，經勞委會南區勞動檢查所初步鑑定結果，災害原因應為更換管線濾網未依程序作業引起，該案經調查為承攬商不當使用固定式起重機吊鉤熱媒油管線，在強力拉扯之下，導致熱媒油管路破裂並大量噴出高溫致熱媒油霧化，濃度達於爆炸界限，同時因產生金屬撞擊火花，或因噴出之熱媒高溫，致產生爆炸，並起火燃燒。




附件

【氫氟酸】小檔案

氟化氫本身是氣體，溶於水後是一種強酸，稱為氫氟酸，氫氟酸屬特定化學物質丙類第一種物質，八小時日時量平均容許濃度為3ppm，吸入時會刺激鼻、咽、眼睛及呼吸道，高濃度蒸氣會嚴重的灼傷唇、口、咽及肺，50ppm 濃度下暴露數分鐘可能致死；皮膚接觸其氣體或無水液體如濃度不高時可能會延遲數小時才會造成疼痛難忍的深度皮膚灼傷。有時會由指甲縫滲入手指，造成指尖的疼痛。如係慢性中毒則可能會有心臟、神經、腸的問題。

使用氟化氫或者氫氟酸之行業主要有半導體業以氫氟酸作為清洗劑、玻璃蝕刻業以氫氟酸作為蝕刻劑、鋼鐵業使用氫氟酸作為表面除鏽劑、石化業以氟化氫作為催化劑、清潔服務業以氫氟酸作為污物腐蝕清洗劑以及作為外牆清洗劑。一般商品名為無煙鹽酸者部份也含有少量氫氟酸。

使用氫氟酸或者氟化氫之場所應為密閉設備或有通風設施，並應使用防護具，如果皮膚可能接觸時需佩戴氟化聚乙烯、氯丁橡膠、類橡膠、天然橡膠、氟化彈性體等材質之手套為宜。眼部則應使用化學安全護目鏡、最好有全面式面罩。空氣中可能有氟化氫溢散時應使用含防氟化氫濾罐的防毒面罩，必要時使用附有空氣鋼瓶之防護具；全身防護具可使用橡膠材質連身式防護衣、工作靴。【摘自勞研所--勞工安全衛生簡訊】

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• 發布日期:2006-02-21
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